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高纯钛靶材的应用!

发布时间:2022-05-12 09:18:29 丨 浏览次数:

  众所周知,纯度是靶材的主要性能指标之一。在实际应用中,靶材的纯度要求也不同。与普通工业纯钛相比,高纯钛价格昂贵,应用范围窄。主要用于满足一些特殊行业的需要。那么,高纯钛靶材的主要应用是什么呢?

  高纯钛靶材的应用主要包括:

  1.生物材料

  钛是一种非磁性金属,在强磁场中不会被磁化,与人体相容性好,无毒副作用。它可用于制造人体植入装置。一般医用钛材料未达到高纯钛的水平,但考虑到钛中杂质的溶解,植入物用钛的纯度应尽可能高。高纯钛丝可用作生物结合材料。此外,嵌入导管内的钛注射针也达到高纯钛水平。

  2.装饰材料

  高纯钛具有优异的耐大气腐蚀性,在大气中长期使用不会变色,确保钛的原始自然颜色。因此,高纯钛也可用作建筑装饰材料。此外,近年来,一些高端装饰品和一些佩戴物品,如手镯、手表和眼镜架,都是由钛制成的,利用了钛的特性,如耐腐蚀、不变色、长期光泽好、与人体皮肤接触时不致敏。某些装饰用钛的纯度已达到5N级。

  3.吸气材料

  作为一种化学性质非常活跃的金属,钛可以在高温下与许多元素和化合物发生反应。高纯钛对活性气体(如O2、N2、CO、CO2和650℃以上的水蒸气)有很强的吸附作用。泵壁上蒸发的Ti膜可形成具有高吸附容量的表面。这一特性使得Ti在超高真空泵系统中被广泛用作吸气剂。如果用于升华泵溅射离子泵,极限工作压力溅射离子泵可降低至10-9pa。

  4.电子信息材料

  近年来,随着半导体技术、信息技术等高科技领域的飞速发展,高纯钛在溅射靶材、集成电路、DRAMs和平板显示器中的应用越来越多,对钛材料的纯度要求也越来越高。在半导体超大规模集成电路工业中,控制电极采用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为扩散阻挡层和布线材料。溅射法用于制造这些材料,溅射法中使用的钛靶材要求高纯度,尤其是碱金属元素和放射性元素的含量非常低。

  近年来,其配套的溅射设备也开始使用与溅射钛靶材纯度相同的高纯钛。目前,对于4兆比特超大规模集成电路,钛的纯度要求达到4n5(99.995%)~5N(99.999%),而对于16兆比特第三代超大规模集成电路,钛的纯度要求达到6N(99.9999%)。



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