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浅谈钛镍锆靶材的种类、应用、制备方法!

发布时间:2023-04-23 19:04:33 丨 浏览次数:

一、靶材的概念

       靶材,又称为溅射靶材,是指在溅射镀膜过程中被溅射的物质。溅射是一种材料沉积方法,通过加速带电粒子(离子)撞击靶材表面,将靶材表面的原子或分子“剥离”出来,然后将其沉积到衬底表面,形成薄膜。靶材的选择和质量对薄膜的性能有着至关重要的影响。

二、靶材的种类

根据不同的分类方法,靶材可以分为多种类型。

按材料种类分类:金属靶、合金靶、陶瓷靶、复合靶等。

按纯度分类:高纯靶材、超高纯靶材等。

按用途分类:光学薄膜靶材、磁性薄膜靶材、导电薄膜靶材等。

三、靶材的应用

靶材被广泛应用于许多领域,如:

显示器领域:如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)等。

太阳能电池:如硅基、薄膜太阳能电池等。

磁存储:如硬盘、磁卡等。

微电子器件:如集成电路、半导体器件等。

光学元件:如反射镜、滤光片等。

生物医学:如生物传感器、药物释放控制等。

四、靶材的制备方法

靶材制备方法主要包括以下几种:

熔铸法:将金属或合金材料加热至熔化状态,然后进行浇铸,冷却后脱模得到靶材。

热压法:在高温下对粉末状原料施加压力,使其熔结成型。

烧结法:将粉末状原料经过成型和高温烧结,形成具有一定强度和形状的靶材

溅射法:利用溅射技术将原材料溅射到另一靶材表面,形成所需的薄膜靶材。

化学气相沉积法(CVD):通过化学反应在靶材表面沉积所需材料。

电解法:利用电流通过溶液,使溶液中的金属离子沉积在阳极上,形成靶材。

五、总结

       钛靶材作为溅射过程中被溅射的物质,其种类繁多,应用广泛,涵盖了显示器、太阳能电池、磁存储、微电子器件、光学元件等多个领域。靶材的质量对薄膜性能具有重要影响,因此选择合适的靶材及制备方法至关重要。在未来的科技发展中,靶材技术将继续发挥重要作用,推动各领域技术的不断创新与突破。



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