浅谈钛镍锆靶材的种类、应用、制备方法！

发布时间：2023-04-23 19:04:33 丨 浏览次数：

一、靶材的概念

       靶材，又称为溅射靶材，是指在溅射镀膜过程中被溅射的物质。溅射是一种材料沉积方法，通过加速带电粒子（离子）撞击靶材表面，将靶材表面的原子或分子“剥离”出来，然后将其沉积到衬底表面，形成薄膜。靶材的选择和质量对薄膜的性能有着至关重要的影响。

二、靶材的种类

根据不同的分类方法，靶材可以分为多种类型。

按材料种类分类：金属靶、合金靶、陶瓷靶、复合靶等。

按纯度分类：高纯靶材、超高纯靶材等。

按用途分类：光学薄膜靶材、磁性薄膜靶材、导电薄膜靶材等。

三、靶材的应用

靶材被广泛应用于许多领域，如：

显示器领域：如液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）等。

太阳能电池：如硅基、薄膜太阳能电池等。

磁存储：如硬盘、磁卡等。

微电子器件：如集成电路、半导体器件等。

光学元件：如反射镜、滤光片等。

生物医学：如生物传感器、药物释放控制等。

四、靶材的制备方法

靶材制备方法主要包括以下几种：

熔铸法：将金属或合金材料加热至熔化状态，然后进行浇铸，冷却后脱模得到靶材。

热压法：在高温下对粉末状原料施加压力，使其熔结成型。

烧结法：将粉末状原料经过成型和高温烧结，形成具有一定强度和形状的靶材

溅射法：利用溅射技术将原材料溅射到另一靶材表面，形成所需的薄膜靶材。

化学气相沉积法（CVD）：通过化学反应在靶材表面沉积所需材料。

电解法：利用电流通过溶液，使溶液中的金属离子沉积在阳极上，形成靶材。

五、总结

       钛靶材作为溅射过程中被溅射的物质，其种类繁多，应用广泛，涵盖了显示器、太阳能电池、磁存储、微电子器件、光学元件等多个领域。靶材的质量对薄膜性能具有重要影响，因此选择合适的靶材及制备方法至关重要。在未来的科技发展中，靶材技术将继续发挥重要作用，推动各领域技术的不断创新与突破。